Производство микроскопов и инспекционных систем на их основе.

Комплекс автоматизированный МА 300


  Комплекс автоматизированный МА 300, предназначенный для контроля элементов топологического рисунка ИС на полупроводниковой пластине  с топологической нормой от 0.18 мкм и более, на базе микроскопа, работающего в УФ области спектра (l = 365 нм).

  Комплекс оснащается шестипозиционной револьверной головкой с электромеханическим приводом, объективами 100/0,9 УФ, 150/0,9 УФ (разрешением не менее 3300 лин/мм, рассчитанны для длины волны 365±10 нм).

    Комплекс оснащается ручным или моторизированным координатным столом и механизмом фокусировки, позволяющими проводить контроль элементов топологического  рисунка  на полупроводниковых пластинах диаметром до 300 мм.

Заявка на приобретение
Обьективы 5х 10х 20х 50х 100х 100хУФ 150хУФ
Числовая апертура 0,15 0,25 0,45 0,80 0,90 0,90 0,90
Рабочий отрезок, мм 4,60 2,25 1,30 0,55 0,32 0,20 0,15
Линейное поле зрение мм, не мение 4,40 2,20 1,10 0,43 0,21 0,05 * 0,05 *
Увеличение визуального канала с окуляром 10х, крат 50 100 200 500 1000 1000 ** 1500 **
Визуальная разрешающая способность лин/мм, не мение 400 750 1200 1800 2400 3300 3300
Револьверная головка шестипозиционная, с электромеханическим приводом
Освещение

а) для видимой области спектра - лампа галогенная 12В, 100В

б) для ультрафиолетовой области спектра - ртутно-дуговая лампа или светодиод

в) для проходящего света - светодиод

Диапозон перемещения стола координатного (ручного и автоматизированного) по коордионатам Х, У мм от 0 до 200
Погрешность перемещения стола автоматизированного по коордионатам Х и У мкм, не более + 3
Дискретность перемещения стола автоматизированного по коордионатам Х и У мкм, не более 0,2
Дискретность перемещения стола автоматизированного для моторизованной фокусировки по коордионате Z мкм, не более 0,06

 

*  - регистрируемое поле зрения камерой

** - увеличение, передаваемое на камеру

Скачать PDF