Производство микроскопов и инспекционных систем на их основе.

Посты микроконтроля МК-1 на базе микроскопов Микро-200 и Микро-200T


 Посты микроконтроля МК-1 на базе микроскопов МИКРО 200-01 и МИКРО 200Т-01 являются инспекционными комплексами, предназначенными для контроля полупроводниковых пластин и фотошаблонов при производстве различных радиоэлектронных компонентов, а также для исследований в других областях науки и техники.

   Посты микроконтроля МК-1 оснащены качественной оптикой с увеличенным полем зрения. Применение 5-позиционной электромеханической револьверной головки позволяет рассматривать объекты без существенных потерь времени на поиск объекта при изменении увеличения, при смене объектива резкость остается практически неизменной и наблюдаемый элемент остается в центре поля зрения.

  Пост микроконтроля МК-1, по желанию заказчика, вместо стола координатного ручного может быть укомплектован столом автоматизированным*.

Заявка на приобретение
Объективы (планапохроматы) 5x 10x 20x 50x 100x  
Числовая апертура 0.15 0.25 0.45 0.80 0.90
Рабочие отрезки объективов, мм 4.60 2.25 1.30 0.55 0.32
Разрешающая способность, лин/мм, не менее 400 750 1200 1800 2400
Линейное поле зрения, мм 4.40 2.20 1.10 0.43 0.21
Увеличение визуальное с окуляром 10x, крат 50 100 200 500 1000
Максимальное увеличение визуального канала, крат 150 300 600 1500 3000
Револьверная головка - пятипозиционная с электромеханическим приводом
Предметный стол - поворотный с ручным управлением
Ход стола по координатам X,Y , мм 200x200
Ход стола по координатe Z, мм 27
Чувствительность тонкой фокусировки, мкм/об 0.16

 

Скачать PDF