Производство микроскопов и инспекционных систем на их основе.

Сканирующий зондовый микроскоп СЗМ-200

      АТОМНО - СИЛОВОЙ МИКРОСКОП 


    

    ОАО "Оптоэлектронные системы" предлагает использовать атомно-силовую микроскопию, основанную на сканировании изделий зондами, которые имеют нанометровый радиус закругления острия. Такие приборы позволяют производить контроль наноразмерных элементов топологического рисунка интегральной схемы. Традиционный метод визуальной инспекции, основанный на использовании оптического микроскопа с высоким разрешением, объединен в комплексной системе с методом атомно-силового сканирования.

 

    Комплекс позволяет проводить необходимые измерения в топологическом рисунке микросхем не только в плоскости, но и осуществлять их трехмерный контроль, что позволяет значительно повысить достоверноcть и информативноcть межоперационного контроля, одновременно обеспечивая оперативность и простоту поиска элементов в режиме оптического микроскопа с последущим контролем их атомно-силовым зондом. Такой микроскоп позволяет изучать как ровность края топологического рисунка после его создания, так и структуру формируемых пленок различного функционального назначения, что дает возможность проводить контроль по всей технологической цепочке формирования субмикронных микросхем.