Производство микроскопов и инспекционных систем на их основе.

Сканирующий зондовый микроскоп СЗМ-200


   Сканирующий зондовый микроскоп СЗМ-200  позволяет обеспечить контроль как обычных, так и   критических   наноразмерных   элементов   топологического   рисунка ИС на пластинах до 200 мм.

  Микроскоп сочетает возможности высокоразрешающего оптического и сканирующего зондового микроскопа, что  позволяет оперативно с помощью оптического микроскопа находить область, требующую контроля и затем проводить исследования с использованием контактного режима атомно-силового микроскопа.

Заявка на приобретение
Электрическая мощность, потребляемая микроскопом кВт, не более   1,0
Диапазон перемещения автоматизированного координатного стола, 
(далее стола) по координатным осям X, Y, мм   
от 0 до 200
Дискретность перемещения координатногостола по координатным осям     X, Y, мкм не более  
0,2

Погрешность перемещения стола   по координатной оси X, мкм

                                                                по координатной оси Y, мкм 

+ 3

+ 3

Диапазон скорости перемещения стола, мм/с  от 0,5 до 20

Диапазон перемещения стола ввертикальном направлении, мм

Диапазон сканирования по координатным осям Х, У, мкм

Диапазон сканирования по координатной оси  Z, мкм
 

от 0 до 9

от 0 до 60

от 0 до 6

Латеральное (горизонтальное) разрешение (по координатным осям X, Y) в режиме зондовой микроскопии нм, не менее   
4
Вертикальное разрешение в режиме зондовой микроскопии нм, не более 0,4
Окуляры, крат 10
Объективы, крат 5, 10, 20, 50, 100
Визуальная разрешающая способность оптического микроскопа, лин/мм от 400 до 2400
Увеличение микроскопа, крат  от 50 до 1000
Диаметр исследуемых полупроводниковых пластин, мм до 200

 

Скачать PDF