Производство микроскопов и инспекционных систем на их основе.

Установка контроля МК-АМ

 


     Установка контроля МК-АМ,  предназначенная для визуального и автоматизированного контроля дефектов внешнего вида кристаллов на полупроводниковых пластинах с последующим формированием карты дефектов и возможностью маркировки в автоматическом режиме. В состав установки входит: микроскоп с  автоматизированным столом, специализированное программное обеспечение, маркировщик.

 

 

Заявка на приобретение
Габаритные размеры установки мм, не более 1500х900х1500
Масса кг, не более   150
Электрическая мощность, потребляемая установкой кВт, не более 0,6
Диапазон перемещения автоматизированного координатного стола (далее стола) по координатным осям X, Y, мм

от 0 до 200

По X до 280

Диапазон скорости перемещения стола, мм/с  от 0,5 до 40

Дискретность перемещения стола по координатным осям X, Y мкм,   не более

0,2
Дискретность перемещения стола по координатной осе Z  мкм, не более 0,06

Погрешность перемещения стола по координатной оси X, мкм

                                                             по координатной оси Y, мкм

+ 30

+ 30 

Освещение лампа галогенная 12 В, 100 Вт
Окуляры, крат 10
Объективы, крат 10, 20, 50
Визуальная разрешающаяспособность микроскопа,  входящего в установку, лин/мм  от 750 до 1800
Увеличение микроскопа, входящегов установку, крат от 100 до 500
Контроль дефектов с минимальным линейным размером, мкм 0,8
Смещение маркировочного пятна относительно центра кристалла мм, не более  0,2
Диаметр контролируемых полупроводниковых пластин, мм  100, 150, 200

 

Скачать PDF