Светлопольная микроскопия

Методы оптической микроскопии

Светлопольная микроскопия основана на формировании изображения под воздействием пучка света. Особенно эффективно ее методы применяются для контроля структуры изучаемых объектов, содержащих в себе либо производящие тени элементы, либо элементы, которые имеют очень резко отличающийся от своего окружения коэффициент преломления.

Метод светлого поля в отражённом свете применяется для изучения непрозрачных отражающих свет объектов (окрашенные шлифы металлов или руд, биологических тканей). Особенно эффективным применение данного метода может быть для контроля полупроводниковых пластин и фотошаблонов при проектировании и производстве различных изделий функциональной электроники, так как они содержат в своем составе элементы, имеющие очень резко отличающийся от своего окружения коэффициент преломления.

Освещение объекта наблюдения производится строго сверху через объектив, являющийся в данном случае конденсором. Изображение создается за счет того, что разные участки объекта наблюдения имеют разную отражающую способность, а отраженные лучи имеют различную интенсивность.

Микроскопы:

Метод светлого поля в проходящем свете является одним из самых широко применимых методов наблюдения в оптической микроскопии. Он идеально подходит для изучения прозрачных объектов, состоящих из элементов с разной оптической плотностью (тонкие окрашенные срезы животных и растительных тканей, тонкие шлифы минералов и т.д.). Особенно эффективно данный метод может применяться для обнаружения дефектов фотошаблонов, так как изображение получается очень контрастным из-за разной плотности элементов структуры и стеклянной подложки фотошаблона.

Световой пучок, выходящий из осветителя микроскопа, проходит через образец и объектив и даёт вблизи фокальной плоскости окуляра равномерно освещенное поле.

Элементы структуры образца частично поглощают и частично рассеивают падающий на них свет, в результате чего на светлом фоне формируется темное изображение.

Данный метод подходит также и для наблюдения неабсорбирующих (не поглощающих свет) объектов, но лишь в том случае, если они рассеивают световой пучок настолько сильно, что значительная часть его не попадает в объектив.

Микроскопы: