2220033,
г. Минск, пр-т Партизанский, 2/2, к. 15
+375 17 392 04 81 ntcm@tut.by
Разработка сайта creater-logo
В каталог

Вращение: Зажать левую клавишу мыши

Увеличение/уменьшение: Колесо мыши

 
product
product
product
product
product

Комплекс автоматизированный МА-300

Режим наблюдения объекта:

* Дополнительно по отдельному заказу поляризационный и дифференциально-интерфереционный контраст в отраженном свете.

ЗАЯВКА НА ПРИОБРЕТЕНИЕ

  • Комплекс автоматизированный МА-300 с функцией наблюдения в видимой и УФ (λ=365 нм) областях спектра.

     

    Комплекс автоматизированный МА-300 предназначен для контроля структур интегральных микросхем на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм при производстве изделий электронной техники. Работает в видимой и ультрафиолетовой областях спектра (λ=365нм).

     

    В комплект поставки может входить программное обеспечение средства измерения Анализатор SIAMS 800. Значение относительного СКО случайной составляющей погрешности не более: 0.2% - при увеличении до 500 крат включительно, 0.4% - при увеличении свыше 500 крат.


    Предел допускаемой относительной погрешности не более: при увеличении до 500 крат включительно ±0.25%; при увеличении свыше 500 крат ± 0.65%.

  • Объективы Линейное поле зрения Визуальная разрешающая способность, лин/мм, не менее Увеличение
    с окулярами 10х , мм, не менее мм, не менее
    5х / 0,15 BD 4.40 - 400 50
    10х / 0,25 BD 2.20 - 700 100
    20х / 0,45 BD 1.1 - 1200 200
    50х / 0,8 BD 0.42 - 1800 500
    100х / 0,9 BD 0.21 - 2400 1000
    100 х / 0,9 УФ - 0.23 3300 *

     

    Примечание: *- Увеличения для ультрафиолетовой области спектра на мониторе зависят от размеров матриц монитора и видеокамеры.